(1) - вакуум камерасы
- вакуум камерасының функциясе - чистарту камерасының вакуум дәрәҗәсендә тотылуын, тышкы мохитнең (тузан, су парлары кебек) тәэсир итмәвен тәэмин итү, һәм куркыныч газларны чиста бүлмәдән аеру. Ул капка, манипулятор, тапшыру механизмы, изоляция ишеге һ.б.
(2) Эшләү палатасы
Эфир камерасы - ICP эфир җиһазларының төп структурасы. Бу эфир тизлегенә, эфирның вертикальлегенә, тупаслыгына турыдан-туры тәэсир итә. Эшләү камерасының төп компонентлары: өске электрод, ICP радио ешлык берәмлеге, RF радио ешлык берәмлеге, түбән электрод системасы, температура белән идарә итү системасы һ.б.
(3) Газ белән тәэмин итү системасы
Газ белән тәэмин итү системасы төрле газ чыгаручы камерага җибәрү, һәм басым контроллеры (PC) һәм масса агым контроллеры (MFC) аша газ агымының тизлеген һәм агымын төгәл контрольдә тоту. Газ белән тәэмин итү системасы газ чыганагы шешәсе, газ җибәрү торбасы, контроль системасы, катнаштыру җайланмасы һ.б.
(4) Вакуум системасы
Ике вакуум системасы бар, берсе - вакуум камерасы өчен, икенчесе эфир камерасы өчен. Алдагы - вакуум камерасы механик насос белән эвакуацияләнә. - вакуум камерасындагы вакуум дәрәҗәсе билгеләнгән кыйммәткә җиткәч кенә, ваферны күчерү өчен изоляция ишеге ачылырга мөмкин.