Плазманы чистартучыларның махсус кушымталары

Плазманы чистарту / эшкәртү машиналары электр кырын булдыру өчен мөһерләнгән савытка ике электрод куеп плазма ясыйлар. Вакуум насосы билгеле вакуум дәрәҗәсен саклау өчен кулланыла. Газ сирәк очрый башлагач, молекулалар белән молекулаларның яки ​​ионнарның ирекле хәрәкәте арасы арта. Электр кыры тәэсирендә бу ионнар бәрелешә һәм плазма ясыйлар. Бу ионнар бик реактив, барлык химик бәйләнешләрне диярлек өзәр өчен җитәрлек энергия белән, ачыкланган өслектә химик реакцияләр тудыралар. Төрле газ плазмалары төрле химик үзлекләргә ия. Мәсәлән, кислород плазмасы югары оксидлаштыра, фоторезистны газ чыгарырга сәләтле, шулай итеп чистарту эффектына ирешә. Коррозив газ плазмасында искиткеч анисотропия бар, ул чистарту таләпләренә туры килә. Плазманы дәвалау ялтыравык тудыра, димәк, ялтыравык исеме.
Плазманы чистарту механизмы, беренче чиратта, плазмадагы актив кисәкчәләрнең "активлашуына" таяна. Реакция механизмы ягыннан плазманы чистарту гадәттә түбәндәге процессны үз эченә ала: органик булмаган газлар плазма торышына дулкынланалар; газлы матдәләр каты өслеккә кушылалар; реклама группалары каты өслектәге молекулалар белән реакция ясыйлар, продукт молекулаларын барлыкка китерәләр; продукт молекулалары газ фазасына таркала; һәм реакция калдыклары өслектән чыгарыла.

Плазманы чистарту технологиясенең иң мөһим үзенчәлеге - ул металл, ярымүткәргечләр, оксидлар һәм полипропилен, полиэстер, полимид, поливинил хлорид, эпокси, хәтта политетрафлуоретилен кебек теләсә нинди субстрат төрне эшкәртә ала. Ул бөтен өслекне дә, конкрет өлкәләрне дә, катлаулы структураларны да чистарта ала.